微电子和超纯水-j9九游会老哥论坛

整个净化线的保护

在初级净化线之前去除硬度或悬浮固体和胶体等大颗粒，是保证下游除盐处理最佳性能的关键步骤。

超滤预处理

与多介质过滤器 (mmf) 相比，杜邦已证明其在去除悬浮固体、胶体和藻类方面具有优异性能，从而更好地保护下游反渗透系统，提高稳定性和制水效率。现在，随着整合 dupont™ integraflux™、inge® 和 memcor® 的超滤技术，杜邦拥有从内压到外压、从pes 到 pvdf、从压力式超滤到浸没式超滤的最广泛的超滤产品。根据进水水质和客户要求，杜邦可以提供最适合的高稳定性、低能耗、低化学品消耗的超滤产品。 

使用离子交换树脂进行软化

杜邦的软化去除微量的硬度，保护和提高反渗透装置的回收率。杜邦的强酸阳离子交换树脂和弱酸阳离子交换树脂都可用于软化。 

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去除溶解杂质，达到近超纯水质量

自 20 世纪 90 年代以来，使用离子交换树脂 (ier) 进行除盐已经成为半导体工厂中非常普遍的技术。杜邦选择并开发了一系列特殊的 ier，在反渗透 (ro) 装置前提供即时的优质进水。

能有效去除水中的二氧化碳。与传统脱气塔相比，杜邦 ligasep™ 具有更高的去除率、更小的占地面积和更高的洁净度。

是薄膜复合反渗透的发明者，是现代反渗透技术的核心。filmtec™ 反渗透凭借其稳定的高品质和皮实耐用的产品而闻名，为整个生命周期创造了更低的成本。杜邦开发了特制的半导体级反渗透 (sg)，对低分子有机物的截留率更高，并可加速总有机碳 (toc) 的冲洗。

filmtec™ eco 系列反渗透元件具有领先的性能和较低的能耗。 反渗透元件具有领先的抗污染能力，在进水污染倾向较高的情况下也能拥有可靠的性能。 

混床脱盐在反渗透装置之后产出近乎超纯水的质量。25 年来，杜邦 的效率和高性能评级已得到半导体行业的认可。

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消除微量污染物，实现最高超纯水质量 

微电子领域的制造工艺对 upw 质量有着严格的要求，包括电阻率、金属、toc、硼、溶解氧、颗粒等。

抛光混床树脂

为了达到对电阻率、金属、toc 的更高要求，选择合适的最终抛光混床树脂非常重要。验的稳定、可靠性能而得到广泛认可。一般来说，根据不同行业所需的 upw 质量和实践，可以使用杜邦以下抛光混床树脂：

• 太阳能电池板行业：、
• 显示面板行业：、
• 半导体行业：、、

硼选择性树脂 ambertec™

当进水中的硼浓度较高或制造工艺对硼有着严格要求时，需要使用除硼树脂。杜邦开发了特制的半导体级硼选择性树脂 ，toc 更低，工作容量更高，粒径更均匀，可用于 upw 精处理回路。 

脱气膜

脱气膜广泛用于去除 upw 水中的氧气。中独特的半致密真皮透气膜可简化系统设计，并提供更好的性能。 

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最大化废水的价值

微电子行业消耗大量的水。为节约用水，并实现业务的可持续发展，该行业一直热衷于回收各种生产过程中产生的废水。根据废水来源的成分和浓度，合适的产品和处理工艺会有很大的不同。杜邦提供各种各样的技术和产品来回收废水或废水中有价值的物质。 

反渗透 (ro)

反渗透技术已广泛用于减少给水中的杂质，然后重新作为 upw 的给水或作为公用事业用水。根据给水特性和客户需求，可以使用杜邦 filmtec™ 的不同反渗透产品。filmtec™ eco 系列反渗透元件适用于污染倾向较低的废水且运行成本最低。filmtec™ fortilife™ cr 系列反渗透元件适用于污染倾向高且要求高产水质量的废水。filmtec™ fortilife™ xc 系列反渗透元件可用于高回收率的再生和再利用反渗透系统，可将ro浓水中的tds提高到 70,000-80,000 ppm。这些元件适用于优先考虑可靠性和清洁频率的高污染倾向性和高盐度的工艺流程。

离子交换树脂, 超滤, mbr 和脱气膜

离子交换树脂、超滤、膜脱气等技术也用于实现水再利用和/或废水资源的循环利用。以下是一些例子：

• 使用螯合树脂 和 从废水中分离铜
• 使用高性能从废水中分离氢氧化四甲基铵 (tmah)
• 使用杜邦的从切割机 (ds)、背面研磨 (bg) 和化学机械抛光 (cmp) 废水中分离出细小颗粒
• 通过 的膜生物反应器 (mbr) 提高有机废水的再利用
• 使用去除苛性碱废水中的氨

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